Innovation durch Kooperation
Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien
Forschung am Fraunhofer CNT
Das Fraunhofer CNT wurde am 31. Mai 2005 eröffnet. Es steht modellhaft für eine enge Kooperation von Forschung und Fertigung. Dazu bietet Dresden, eingebettet in Silicon Saxony ausgezeichnete Standortbedingungen für eine partnerschaftlich betriebene Forschungsplattform für Nanoelektronik, die offen ist für die Zusammenarbeit von Forschungsinstituten mit Material- und Geräteherstellern.
Für das Fraunhofer CNT stehen auf dem Gelände von Infineon Dresden ca. 800m² Reinraumfläche (Reinraumklasse 1000) sowie eine Infrastruktur zur Verfügung, die Industriestandard entspricht. Schwerpunktthemen sind die Bearbeitung ausgewählter Prozessschritte für die Fertigung von high-density-Speicherbausteinen sowie high-performance-Transistoren. Zusätzlich zu den Forschungsarbeiten im Reinraum werden auf den umfangreichen Laborflächen neue Analyse- und Metrologieverfahren entwickelt sowie die Ergebnisse der Waferprozessierung analysiert.




Social Bookmarks