Deutsch

Forschen für Innovationen

Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (IPMS-CNT)

Forschung in der Nanoelektronik

Als Forschungseinrichtung der Fraunhofer Gesellschaft beschäftigt sich das Center Nanoelektronische Technologien mit verschiedensten Problemstellungen der Halbleiterbranche. In enger Anbindung an die Hersteller am Standort Dresden Nord forschen die Wissenschaftler unter anderem an Themen wie die Weiterentwicklung und Charakterisierung von Materialien und Analysemethoden oder der Weiterentwicklung von Prozessmethoden. Durch die lokale Nähe zu den Fertigungslinien des Partners GLOBALFOUNDRIES und das vorhandene Know-how können viele Synergieeffekte genutzt werden. Dadurch ist es möglich Entwicklungen und neue Prozesse schnell in die Fertigungsabläufe einzubauen, was es wiederum erlaubt Herstellungskosten und -zeit zu sparen.

Fraunhofer CNT Aktuell

CNT Nanopatterning Team @ EMLC 2013
June 25-27, 2013 - wel present our latest research result. Talk by Dr. Katja Steidel "Evaluation of ultra-low-k characteristics and transistor performance after high-energy electron irradiation"
- mehr Info
Fraunhofer CNT beim Infineon Dresden Innovation Spring 2013
19.- 20.3.2013 - Infineon Dresden und seine Partner präsentieren neue Produkte und Technologien zum Thema "Vernetzt in die Zukunft". Das Fraunhofer CNT ist zusammen mit dem Fraunhofer IPMS vor Ort.
- mehr Info
Novel High k Application Workshop 2013
6.3.2013 - Das Fraunhofer CNT präsentiert drei Vorträge beim Novel High k Application Workshop 2013 an der TU Dresden. Registrierung und das vollständige Programm gibt es hinter dem Link.
- mehr Info
Fraunhofer CNT bei der SPIE Advanced Lithography 2013
24.-28.2. 2013 - Das Nanopatterning-Team des CNT wird in San Jose (US) vor Ort sein. Dr. Christoph Hohle leitet die Session "Advances in Resist Materials and Processing Technology" am 26.2.2013.
- mehr Info
Fraunhofer CNT - Abteilung des Fraunhofer IPMS
Das Fraunhofer CNT ist seit dem 01.01.2013 als Abteilung innerhalb des Fraunhofer Instituts für Photonische Mikrosysteme (IPMS) integriert. Prof. Hubert Lakner, Institutsleiter Fraunhofer IPMS und Vorsitzender des Fraunhofer-Verbunds Mikroelektronik, ist der neue Direktor des Fraunhofer CNT.
- mehr Info
Forschung am Fraunhofer CNT geht weiter
Freistaat Sachsen fördert neues Technologieforschungsprojekt. Das Fraunhofer CNT war in diesem Jahr zum dritten Mal Gastgeber des „Research Day 2012“. Ab dem 8. November trafen sich über 80 renommierte Vertreter aus Wirtschaft und Wissenschaft zum Erfahrungsaustausch über die neuesten Forschungsergebnisse, Strategien und Innovationen in der Schlüsseltechnologie Mikroelektronik.
- mehr Info
3rd Fraunhofer CNT Research Day
Das Fraunhofer CNT veranstaltet am 8. November die dritte Ausgabe des Research Days mit Vortragenden der Industrie und Wissenschaftseinrichtungen. Melden Sie sich jetzt kostenfrei an! Programm nach dem Link!
- mehr Info
Fraunhofer CNT at Semicon Europe
Unser Institut wird mit dem Verbund Mikroelektronik auf der Semicon Europe in Dresden (9.-11. Oktober 2012) vertreten sein...besuchen Sie uns!
- mehr Info
58th Fraunhofer CNT Kolloquium
8. Oktober 2012 von 16:00 bis 17:00 Uhr Prof. Daniel Schondelmaier, Westsächsische Hochschule Zwickau / "Nanoimprint - Brücken zwischen Forschung und Lehre" /// Fraunhofer CNT Königsbrücker Str. 180, Gebäude 48, Raum 48.2.150, 01099 Dresden
- mehr Info
Wegbereiter für die Chips der Zukunft in Dresden - Renomiertes Treffen internationaler Halbleiterforscher und die 10. Lange Nacht der Wissenschaften 2012
Das Fraunhofer Center für Nanoelektronische Technologien (CNT) war vom 25.-27. Juni 2012 Gastgeber des 17. „Workshop on Dielectrics in Microelectronics“ (WoDiM) in Dresden, bei dem internationale Gäste und Wissenschaftler aus Industrie, Wirtschaft und Forschung aus dem Bereich der Nano-/Mikroelektronik zusammentrafen. Dresden bewies sich damit einmal mehr als herausragender Mikroelektronik Standort in Europa.
- mehr Info
Fraunhofer CNT Jahresbericht 2011
alle Informationen und Entwicklungen am Fraunhofer CNT in einer umfassenden Übersicht
- mehr Info
17th Workshop on Dielectrics in Microelectronics (WoDiM) 2012
25-27 Juni 2012 - Dresden // organisiert vom Fraunhofer CNT // JETZT anmelden! // alle Informationen finden Sie auf der Webseite: www.wodim2012.com
- mehr Info
Fraunhofer CNT at ALD Conference 2012
17-20 Juni 2012 - Fraunhofer CNT and Partners to present recent progress made in the fields of Atomic Layer Deposition (ALD) and materials integration for Novel ferroelectric for FeFET, improved reliability for 28nm HKMG, Low cost of ownership Large Batch Furnace Replacement Gate Technology, in depth understanding of ZrO2 DRAM Capacitor dielectrics and a superior new ALD Titanium precursor for TiO2.
- mehr Info
Emerging Memories Take Stage at VLSI Symposium
15-17 Juni 2012 // The 2012 Symposia on VLSI Technology & Circuits, planned for mid-June in Honolulu, points to future directions in memory technology, including 3-D NAND, spin torque transfer MRAM, ferroelectric memories, and other emerging memory types. Intel’s K. Zhang will give an invited paper on SRAMs using tri-gate transistors, scheduled for June 13th in the late morning. A team from GlobalFoundries, the Fraunhofer Center of Nanoelectronic Technologies, and NaMLab GmbH will describe progress with ferroelectric materials for non-volatile memories which consume less power than other new memory types.
- mehr Info
Axus Technology gibt Vertrag mit Fraunhofer über 300-mm-CMP-Entwicklung und Foundry-Services bekannt
Axus Technology, ein in Arizona ansässiger Anbieter von Entwicklungs- und Serviceleistungen auf dem Gebiet des Chemical Mechanical Polish, Wafer Thinning und Wafer Polish für Halbleiter, MEMS und substratbasierte Anwendungen, hat einen Vertrag mit dem Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) und dem Fraunhofer-Center für Nanoelektronische Technologien (CNT) in Dresden bekanntgegeben.
- mehr Info
Forschung für die Praxis - 20 Jahre Fraunhofer in Dresden
Die Fraunhofer-Institute und Institutsteile feiern in diesem Jahr ihre erfolgreiche Entwicklung am Standort Dresden und blicken auf 20 Jahre Erfindergeist zurück.
- mehr Info
bubbles & beyond und das Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien entwickeln gemeinsam neue, umweltfreundliche Reinigungsverfahren für Mikroelektronik
bubbles & beyond, ein auf maßgeschneiderte intelligente Flüssigkeiten (intelligent fluids®) spezialisiertes Technologieunternehmen, und das Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien (CNT), Dresden, haben heute ihre Zusammenarbeit zur Entwicklung neuer Reinigungsverfahren im Bereich Mikroelektronik bekannt gegeben.
- mehr Info
Fraunhofer CNT und ASELTA kündigen Entwicklungszusammenarbeit an
Fraunhofer Center Nanoelectronic Technologies (CNT), Dresden und ASELTA Nanographics, Grenoble, gaben heute die gemeinsame Entwicklung von E-Beam Proximity Effect Correction-Lösungen sowohl für das Maskenschreiben als auch für maskenlose Lithographieanwendungen (ML2) bekannt.
- mehr Info
Fraunhofer CNT unterzeichnet gemeinsames Entwicklungsabkommen mit großem Ausrüstungszulieferer
Fraunhofer CNT gab heute die Unterzeichnung eines gemeinsamen Entwicklungsabkommen mit ASM International N.V. (ASM) bekannt. Die Vereinbarung umfasst eine Vielzahl neuer Projekte im Verlauf der nächsten fünf Jahre.
- mehr Info
Fraunhofer CNT nutzt Software von Critical Manufacturing
Das Fraunhofer CNT wird ab sofort die Productivity Suite "cmNavigo" von der portugiesischen Firma Critical Manufacturing in Dresden einsetzen.
- mehr Info
Fraunhofer CNT und Tokyo Electron vertiefen Kooperation
Das Fraunhofer Center Nanoelektronische Technologien (CNT) und Tokyo Electron Limited (TEL) bauen ihre Kooperation aus. Um den Anforderungen neuerer Messaufgaben in Durchsatz, Qualität und Positioniergenauigkeit über einen großen Temperaturbereich gerecht zu werden, erwarb das Institut einen automatischen Wafer Prober bei der Firma TEL. Im Rahmen eines Evaluationsabkommens werden an einem weiteren System zukünftige Anforderungen an Test- und Charakterisierung auf Wafern weiterentwickelt und erprobt.
- mehr Info